rötter skruv vakuumpump enhet

Roots skruvvakuumpumpenhet för halvledartillverkning

Roots skruvvakuumpumpenhet består av Roots vakuumpump och skruvvakuumpump, som är anslutna i serie för att realisera effektiv pumpfunktion, och är en av de viktiga utrustningarna för industriell produktion och vetenskapligt forskningsexperiment.

Kontakta oss
Beskrivning

Roots skruvvakuumpumpar kombinerar styrkorna hos Roots-pumpar och skruvpumpar och erbjuder en ren, effektiv och oljefri vakuumlösning för krävande industri- och laboratorieapplikationer. Med en tätningsdesign utan smörjolja bibehåller dessa pumpar hög renhet och exceptionell prestanda under hela driften.

Arbetsprincip för Roots skruvvakuumpumpenhet

  • Skruvvakuumpump (försteg):Fungerar som förstegspump och ger höga pumphastigheter och lågt utloppstryck. Mekanisk kompression via exakta skruvgap säkerställer effektiv drift med låg ljudnivå och låga vibrationer.
  • Roots vakuumpump (huvud/intermediär):Synkront roterande dubbla rotorer överför avgaser från sug- till utblåsningskammaren. Spalttätning förhindrar oljeföroreningar och upprätthåller en ren vakuummiljö.
  • Seriedrift:Båda pumparna arbetar i serie, med skruvpumpen som förbättrar vakuumnivån och rotorpumpen som säkerställer stabil, kontinuerlig pumpeffektivitet.

Fördelar med prestanda

  1. Energibesparande:Optimerat förhållande mellan pumphastighet och vakuumgrad minskar strömförbrukningen och överträffar traditionella vakuumsystem i energieffektivitet.
  2. Hög effektivitet:Uppnår en pumpeffektivitet på över 90%, vilket ger höga vakuumnivåer med låg energiförbrukning för olika processer.
  3. Säkerhetsskydd:Avancerat styrsystem med automatisk start/stopp, överbelastning, överström och vattenavstängningsskydd säkerställer långsiktig stabilitet.
  4. Kompakt design:Vertikal stapling eller stege minimerar fotavtrycket, perfekt för fabriker och laboratorier med begränsat utrymme.
  5. Flexibel konfiguration:Justerbart pumphastighetsförhållande mellan pumparna (1:2 till 1:8) för anpassning till olika arbetskrav.
  6. Korrosionsskyddande prestanda:Överflödesytorna är behandlade eller tillverkade av korrosionsbeständiga material, lämpliga för utvinning av frätande gaser och drift i tuffa miljöer.

Användningsområden

  • Kemisk industri:Extraktion av flyktiga organiska lösningsmedel, gaser och för användning i vakuumreaktorer – används ofta i kemiska och farmaceutiska processer.
  • Halvledartillverkning:Stödjer vakuumdeponering, rengöring och etsningsprocesser.
  • Livsmedelsindustrin:Viktigt för livsmedelsförpackningar, dehydrering och vakuumtorkningsprocesser.
  • Metallurgisk industri:Extraherar gas i metallurgiska ugnar och laboratorier för att stabilisera smältprocesser.
  • Laboratorier och vetenskaplig forskning:Idealisk för vakuumexperiment och gasåtervinning i vetenskapliga miljöer.
  • Elektronikindustrin:Används vid tillverkning av integrerade kretsar, vakuumbeläggning av skärmar och andra processer för elektroniktillverkning.